handbuch der vakuumtechnik
n und Oberflächenbehandlung Materialauswahl ist für die Integrität und Dichtheit eines Vakuums entscheidend: Dichtungen: O-Ringe, Flachdichtungen, Metalldichtungen (z.B. Kupfer, Silizium) Wichtig für Minimierung von Leckagen Oberflächenbeschichtungen: Reduktion von Outgassing (A
